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中國MOCVD的國產(chǎn)化道路還有多遠(yuǎn)？

編輯：chris 2011-10-06 14:53:37 瀏覽：1201 來源：本刊記者

　　近年來，我國半導(dǎo)體照明市場發(fā)展迅速，資金紛紛涌入。據(jù)業(yè)內(nèi)人士反映，盡管目前我國白光發(fā)光二極管（LED）產(chǎn)業(yè)發(fā)展比較快，但LED關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備及材料嚴(yán)重依賴進(jìn)口，比如有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積機(jī)臺(tái)MOCVD、等離子刻蝕機(jī)等技術(shù)含量很好的設(shè)備，國內(nèi)生產(chǎn)線全部依靠進(jìn)口，國產(chǎn)高端設(shè)備的匱乏仍然是中國產(chǎn)業(yè)界心中的痛！2011年5月，國家“十二五”科技規(guī)劃重磅出爐，海水淡化、新能源汽車、節(jié)能環(huán)保三大產(chǎn)業(yè)均設(shè)定了具體的數(shù)字指標(biāo)，其中LED設(shè)備與MOCVD國產(chǎn)化成為三大亮點(diǎn)之一。

　　出臺(tái)的國家“十二五”科技規(guī)劃將半導(dǎo)體照明列為節(jié)能環(huán)保產(chǎn)業(yè)技術(shù)發(fā)展的重點(diǎn)，并對LED產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提出了具體的目標(biāo)：2015年半導(dǎo)體照明占據(jù)國內(nèi)通用照明市場30％以上份額，產(chǎn)值預(yù)期達(dá)到5000億元，推動(dòng)我國半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)進(jìn)入世界前三強(qiáng)。未來五年將重點(diǎn)發(fā)展LED制備、光源系統(tǒng)集成、器件等自主關(guān)鍵技術(shù)，實(shí)現(xiàn)大型MOCVD設(shè)備及關(guān)鍵配套材料的國產(chǎn)化。

　　圖1 中國2009-2015年半導(dǎo)體照明產(chǎn)值增長情況

　　巨大的中國MOCVD設(shè)備市需求場

　　由于背光市場不如預(yù)期，市場研究機(jī)構(gòu)LEDinside近期將2011年全球高亮度LED產(chǎn)值預(yù)估由2011年初106億美元下修至90億美元(年增率僅8%)。不過，這并未影響中國業(yè)界對LED的熱情。工業(yè)和信息化部最新統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)顯示，2011年1～7月中國LED產(chǎn)量達(dá)到491.6億只，比去年同期增長了31%。

　　盡管背光市場受阻，但照明市場仍被業(yè)界看好。DisplaySearch最新報(bào)告指出，照明將逐漸成為LED主要應(yīng)用，預(yù)估2011年使用量將較2010年成長20%，2014年LED背光和照明總營收將達(dá)127億美元。

　　毫無疑問，LED市場依舊火熱。中國LED企業(yè)目前也在陸續(xù)上市，力圖擴(kuò)大規(guī)模做大做強(qiáng)。LED制造商們積極擴(kuò)充新產(chǎn)能，作為LED關(guān)鍵工藝設(shè)備的MOCVD出貨量也不斷攀升。根據(jù)IMS的Reseach統(tǒng)計(jì)，2010年氮化鎵金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備共計(jì)出貨798臺(tái)，其中，Vecoo與Aixtron仍是最主要的供應(yīng)商，前者市占率由2009年的31％竄升至42％，而Aixtron則由原本62％萎縮至55％，合計(jì)市占高達(dá)97％。其余設(shè)備商如應(yīng)用材料（AKT）、周星（Jusung）與大陽日酸株式會(huì)社則僅占極小的出貨比例。

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