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ITO玻璃生產工藝相關參數及分類匯總

編輯:chinafpd 2017-10-12 09:07:15 瀏覽:7816  來源:未知

  在普通玻璃的一個表面鍍上一層氧化銦錫的導電膜,就形成了LCD常用的氧化銦錫玻璃,通常簡稱為ITO玻璃。

  基本結構

  基板:

  常用的基板厚度有1.1mm;0.7mm;0.5mm;0.5mm,0.4mm

  根據材料的不同,通常分為鈉鈣玻璃和硼硅玻璃兩種。

  鈉鈣型玻璃

  優點:成本低

  缺點:含有鈉、鉀等離子,易產生滲透,影響產品性能

  硼硅型玻璃

  優點:玻璃硬度高,透過率好

  缺點:成本較高

  鈉鈣型玻璃基本成分:

  SiO2層:

  SiO2層的作用:

  主要是防止鈉鈣型基板中的金屬離子擴散滲透到ITO層中,影響ITO層的導電能力。

  SiO2層的膜厚:

  標準膜厚一般為20-30nm。

  ITO(indium Tin Oxid)層:

  為氧化銦錫的透明導電層,其中I表示In2O3,T表示SnO2,一般Sn(即Tin)的含量約為10%。隨著ITO層厚度的增加,ITO層的厚度逐漸減小。

  分類

  根據基板玻璃表面狀態的不同,通常分為以下三種類型:

  TN:未拋光型,直接在玻璃的浮法面進行鍍膜。

  HTN:簡單拋光型/TN精選玻璃,將玻璃的浮法面進行簡單的拋光后,在拋光面進行鍍膜。

  STN:超拋光型,將玻璃的浮法面進行精細的拋光后,在拋光面進行鍍膜。

  生產工藝

  ITO玻璃的生產工藝流程主要分為以下三個步驟:

  1、切割倒角:

  2、拋光;

  3、鍍膜

  注:TN型玻璃不需要拋光,生產工藝流程更簡單。

  切割磨邊的工藝流程:

  磨邊類型及規格要求:

  通常分為C型和R型兩種

  倒角的形狀及公差:

  拋光工藝流程:

  用研磨料將玻璃表面磨平,使玻璃表面平整。對于STN型ITO玻璃是必須經過的一道生產流程。

  鍍膜工藝流程:

  鍍膜方法:

  鍍膜的方法有:噴霧法;涂覆法;浸漬法;化學氣相沉積法;真空蒸發法;測射法,但目前工業化最有效的方法是磁控測射法。

  磁控測射法:

  在高真空反應室中充入一定比例的02和Ar的混合氣體,在直流高壓下,Ar被電離,在電場作用下轟擊靶材,使銦和錫以原子和離子形式濺射出來,沉積在基板玻璃表面,同時被氧化,形成氧化銦錫膜。

  評價參數

  透過率

  在波長為550nm的光波照射下,具有SI02阻擋層玻璃的透過率不小于80%,其主要取決于玻璃材料、ITO厚度和折射率。

  透過率定義:

  透過玻璃的光透量T2與入射光透量T1之比的百分率

  Tt=T2/T1X100%

  方塊電阻:

  d為膜厚,I為電流,L1為膜厚在電流方向上的長度,L2為膜層在垂直電流方向的長度,ρ為導電膜的體電阻率。ρ和d可以認為是不變的定值,當L1=L2時,為正方形的膜層,無論方塊大小如何,其電阻率為定值ρ/d,這就是方塊電阻的定義,即R=ρ/d

  平整度

  平整度可用h/1表示,意思為在長度為L的范圍內,表面最高點與最低點的差值為h。

  ITO玻璃基板平整度參數包括:

  1、玻璃表面粗糙度;

  2、基板表面波紋度;

  3、基板翹曲度;

  4、基板垂直度‘

  5、ITO膜表面粗糙度;

  6、ITO玻璃基板、膜厚均勻度。

  基板翹曲度

  用h/L表示(如圖),即翹曲的高度與翹起邊的長度之比。

  其中要求如下:

  1、厚度≥0.7mm的基片玻璃,翹曲度(h/L)≤0.1%

  2、厚度≤0.55mm的基片玻璃,翹曲度(h/L)≤0.15%

  3、不允許有S形翹曲

  基板垂直度:用a/L表示(如圖)。用來描述玻璃基板四條邊互相垂直的程度。

  化學穩定性

  ITO鍍膜層的耐化學性能應符合表2中技術要求。

  a、耐堿性

  鍍層在溫度為60±2℃,濃度為10%的氫氧化鈉(分析純)溶液中浸泡5分鐘,ITO膜的方電阻與浸泡前的方電阻相比不得超過110%。

  b、耐酸性

  在25±2℃,6%鹽酸(分析純)溶液中浸泡2分鐘,ITO膜的方電阻與浸泡前的方電阻相比不得超過110%。

  c、耐溶劑性能

  將鍍膜玻璃放入丙酮(分析純)、無水乙醇(分析純)中浸泡5分鐘后,ITO膜的方電阻與浸泡前的方電阻相比不得超過10%。

  熱穩定性

  在空氣中經過30分鐘300±5℃(觸摸屏用ITO玻璃是在200±5℃)高溫后,ITO膜的方阻的變化率小于300%

  附著力

  用3M交代粘在玻璃表面迅速撕開,ITO層無明顯開裂現象。

  ITO膜面的判定

  浮法方向:

  在基板玻璃制造過程中,液態玻璃流動的方向。

  主要判定方法

  (1)將萬用表打至歐姆檔,用探針分別測試兩個點,如果顯示不“1”,則所測試面為ITO膜面。

  (2)用方塊電阻測試儀測試面電阻,如果顯示電阻無窮大,則所測面為非ITO膜面。

  (3)通過大角設別:以16X14英寸的玻璃為例。

  常見問題

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