近年來，隨著高分辨率智能手機的盛行以及智能手機屏幕平均尺寸的持續增大，基于LTPS技術面板的需求將持續走高。為了應對中國市場對中小尺寸LTPS面板的龐大需求，2015年3月，應用材料公司在上海舉行了“推動中國通信行業發展和低溫多晶硅顯示面板量產”的媒體說明會。
過去的二十年，顯示技術飛速發展，低溫多晶硅開始應用于高清顯示面板和AMOLED 面板的生產制造。應用材料公司顯示產品事業部首席營銷官Max McDaniel表示，目前中國面板廠商正積極投資LTPS （低溫多晶硅薄膜晶體管液晶顯示面板）技術以供應中小尺寸高清面板。雖然中國面板廠商期望擴大LTPS面板產能，但對于一些剛加入的廠商來說，建廠之后產能提升的同時，LTPS面板廠的運作效率和良率是急需解決的大問題。
應用材料公司顯示產品事業部首席營銷官Max McDaniel
Max認為，“對顯示行業來講，分辨率、尺寸和形狀始終是驅動它發展的三個因素。其中，分辨率與尺寸這兩個在所有的顯示終端，從電視到移動終端都一直在往高標準發展。柔性顯示這種形式為顯示應用賦予了新的發展意義，開創了自由改變顯示屏幕形狀的可能。”
本次說明會上，應用材料公司重點介紹了針對LTPS面板生產所需的最新型號CVD設備和PVD設備。據介紹，在傳統的電視、顯示器和筆記本電腦領域，應用材料公司為業界提供了制造薄膜晶體管液晶顯示所需的核心關鍵設備，從陣列CVD、陣列PVD到陣列測試和彩色濾光片PVD設備；在新型的OLED顯示、平板電腦和智能機顯示領域，應用材料公司提供了低溫多晶硅、金屬氧化物、觸摸屏和薄膜封裝等成膜設備。
應用材料公司顯示器事業部中國區資深銷售經理方甦棣女士介紹：“應用材料公司的CVD化學氣相沉積設備，采用其獨創的空心陰極技術，能在相對較低的射頻下形成較強的均勻化等離子體分布，以實現更高的成膜速率和更致密膜層，同時有效地避免了高射頻所帶來的潛在的異常放電和對工藝腔體部件的損傷。對于LTPS面板生產而言，更致密的膜層意味著可在更薄的膜層情況下有效減少漏電流的產生。還有異物顆粒是一個不可避免的東西，關鍵就是如何去避免和降低異物顆粒的程度，這很大程度取決于設備制造商多年積累下來的生產和設計制造經驗。目前應用材料公司通過長期的設計、安裝、調試，已經向全球所有主要面板商提供了數百臺五代線以上的設備。針對目前市場上投資比較火熱的六代LTPS面板線，應用材料公司推出的25KPXi CVD設備，采用多個降低顆粒的細節設計，以滿足用戶對于LTPS的更少更小缺陷性顆粒產生的需求。”
據了解，應用材料公司已在臺灣臺南科學工業園區設立臺南顯示實驗室。臺南顯示實驗室目前已有可用于金屬氧化物工藝的8.5代55KSCVD設備，用于彩膜ITO和各種觸控屏鍍膜的在線PVD設備，以及6代尺寸的用于陣列生產的PVD機臺。應用材料公司還計劃2015年的第二季度在臺南的研發中心導入新型CVD機臺，實現LTPS工藝的深度開發整合，更好地支持客戶做好量產工藝的開發和準備，從而縮短客戶量產工廠的爬坡時間。
應用材料公司資深工程師林宛瑜博士
另外，應用材料公司臺南顯示實驗室的資深工程師林宛瑜博士也針對PVD設備做了詳細介紹。她表示，“應用材料公司PVD設備利用革命性的旋轉靶技術，實現腔體內氣壓的穩定，提高成膜的均勻度。靶材使用率的提高，提升了設備稼動率，降低了客戶運行成本。”
PVD設備可以實現均勻的，優良刻蝕殘留性能的ITO成膜：第一、旋轉陰極陣列保證ITO成膜的均勻性；第二、穩定的反應制程可實現理想的電阻和透光性；可控的制程優化實現無刻蝕殘留的ITO沉積；為形成的深孔進行出色的階梯覆蓋。同時，應用材料公司的旋轉陰極可以控制陰極磁鐵的旋轉方向從而控制成膜的速度，更好地進行缺陷和靶材侵蝕的控制，達到一個非常好的均勻度；旋轉靶材的自清潔特性可以極大改善靶材表面光整度，大幅度提升靶材利用率和靶材壽命，減少靶材維護和更新的頻率，從而提高設備的稼動率，降低客戶的綜合使用成本。
Max表示，和非晶硅TFT相比，LTPS最大的貢獻就是可以實現更高的解析度與快速響應。由于它的工藝相對復雜，制造成本較高，在過去的很長一段時間都只限于在較小尺寸的基板上進行生產。近幾年，隨著市場對高解析度移動終端需求的強勁增長，以及各個面板廠商和設備廠商在LTPS領域的技術提升，目前我們看到最新的LTPS TFT 的投資大多已是6代線工廠。 談到金屬氧化物技術，Max認為，“由于其較為容易在大尺寸基板上實現，同時它的低漏電率可起到很好的節能效果，又與現有設備和制程有一定的兼容性，目前其較大的應用是在大尺寸的移動終端設備如平板電腦或筆記本電腦顯示屏上。另外，因為金屬氧化物TFT也是OLED TV 背板的主導技術之一，我們相信其在平板顯示領域會有相當大的市場和應用前景。”
隨著近兩年的投資擴建，特別是大世代液晶面板線在中國的陸續建立，Max認為在未來兩到三年的時間內可能會出現小幅度的結構性產能過剩，但高端移動產品（超高清、OLED等移動顯示產品）仍然擁有一定的價格和盈利優勢。隨著終端市場競爭日益激烈，對于中國的LTPS生產企業而言，如何快速地實現量產，提升良率將成為制勝的關鍵。
應用材料公司針對半導體、平板顯示和太陽能光伏行業所需的精密材料工程解決方案方面有著悠久歷史，憑借在半導體制造設備與服務領域的經驗，能夠幫助客戶的低溫多晶硅面板廠縮短爬坡時間，盡快實現量產，優化并提升良率等方面取得更大的成績。從2004年在北京設立中國第一個銷售服務中心，迄今應用材料公司顯示事業部已經在中國大陸建立了完善的基礎設施，包括六個以上現場服務中心和三個備品備件保稅倉庫，擁有豐富實戰經驗、職業精神的銷售和售后服務團隊；同時，應用材料公司還在臺灣建立了顯示技術研發實驗室，及時為中國大陸客戶提供合作研究、技術開發的便利條件。
作為平板顯示供應鏈的最前端，Max表示，應用材料公司未來愿聚焦于客戶的高附加價值問題的解決方案，為中國平板顯示客戶提供更先進的設備和工藝，及時開發新的技術和設備，提高器件品質和良率，為中國平板顯示行業作出自己的貢獻。
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